PUZHE 蒲柘 PZ-THG 碳化硅单晶显微镜

序号

产品名称/型号

技术参数

1

体视显微镜/XT-13C

放大倍数：8.0X-80X 用于观察微管数目及宏观缺陷

2

偏光显微镜/XP-63C

放大倍数：40X-600X用于碳化硅单晶微管缺陷显微分析

3

数字摄像头/PZ-800M3G

800万像素  具有二维测量功能

选配仪器

1

自动精密切割机

切割速度0.1-5mm/s精确可调，切割精度可达0.01mm

2

自动精密研磨抛光机

研磨抛光≤Ø142mm的圆片或对角线长≤142mm的矩形平面     平面度：每20mm×20mm小于0.002mm

3

切割抛光辅料