HAMAMATSU 滨松 C11011-02 Optical MicroGauge 膜厚测量系统
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HAMAMATSU 滨松 C11011-02 Optical MicroGauge 膜厚测量系统

HAMAMATSU 滨松 C11011-02 Optical MicroGauge 膜厚测量系统
Optical MicroGauge 膜厚测量系统 C11011 是一种利用激光干涉法的薄膜膜厚测量系统。可在 60 Hz 时进行高速测量，因此也可用于工厂内的线阵测量。与可选的映射系统结合使用，以便进行原型厚度分布测量。它可用于从监控制造过程到质量控制的各种用途。 C11011-02 可测量 25 μm 至 2.2 mm 以及 10 μm 至 0.9 mm 的玻璃。

HAMAMATSU    滨松     C11011-02     Optical MicroGauge 膜厚测量系统

特点

  • 通过红外光度法测量非透明（白色）样品
  • 测量薄膜厚度范围（玻璃）：25 μm～2.2 mm
  • 60 Hz 高速测量
  • 可测量层数：1 层
  • 测量带有图案或保护膜的晶圆
  • 长工作距离
  • 映射功能
  • 提供外部控制

详细参数

型号C11011-02
可测量的薄膜厚度范围（玻璃）25 μm 至 2.2 mm*1
可测量的薄膜厚度范围（硅）10 μm 至 0.9 mm*2
测量重现性（硅）100 nm*3
测量精度（硅）< 500 μm: ±0.5 μm, > 500 μm：±0.1%*3
光源红外 LD （1300 nm)
光斑尺寸约 Φ60 μm*4
工作距离155 mm*4
可测量层数最多 1 层
分析峰值检测
测量时间16.7 ms/point*5
外部控制功能RS-232C，PIPE
接口USB 2.0（主机 - 计算机）
电源AC100 V 至 AC240 V，50 Hz/60 Hz
功耗约 50 VA

*1：玻璃折射率当量。
*2：硅折射率当量。
*3：测量硅时的标准偏差
*4：提供工作距离为 1000 mm 的可选型号。
*5：最短曝光时间。


尺寸

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