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HAMAMATSU 滨松 C16767MA 微型光谱仪
应用示例
水质分析
大气分析（NO、SO2 等）
监测 UV-LED、UV-A、UV-B 和 UV-C
半导体制程监测器（等离子体、气体等）
特点
C16767MA 是一款采用 CMOS 图像传感器的新型微型光谱仪，利用蚀刻技术整合狭缝，并通过纳米压印光刻技术制作反射凹面光栅。C16767MA 配备图像传感器，增强了抗紫外线性能，并且针对紫外线衍射优化了衍射光栅。
此外还利用我们独特的光电半导体制造工艺，在图像传感器上形成杂散光截止滤波器，从而限制在衍射期间产生的杂散光进入图像传感器。
结构
入射光侧（芯片背面）
测量示例
左图显示了硝酸、亚硝酸和 BOD（生化需氧量）的测量示例，通常会在水分析中检查这些测量指标。可以理解为，使用 C16767MA 的演示模块执行测量可以获得有利结果。在测量蒽这种有机化合物时，得到了与台面规格分光光度计测量等同的结果，如中间和右侧图表所示。
硝酸、亚硝酸、BOD（使用 C16767 MA 测量）
蒽（使用 C16767 MA 测量）
[对照样] 蒽（使用分光光度计测量）
详细参数
| 光谱响应范围 | 190 至 440 nm |
|---|---|
| 光谱分辨率（FWHM）（典型值） | 5.5 nm |
| 最大光谱分辨率（FWHM） | 8 nm |
| 制冷 | 非冷却型 |
| 内置传感器 | 带狭缝的 CMOS 线阵图像传感器 |
| 像素总数 | 288 像素 |
| 测量条件 | 典型值 Ta = 25°C，除非另有说明 |
外形尺寸图（单位：mm）
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