CAIKON 蔡康光学 SEM5000 场发射扫描电镜

SEM5000是一款分辨率高、功能丰富的场发射扫描电子显微镜。先进的镜筒设计，高压隧道技术（SuperTunnel）、低像差无漏磁物镜设计，实现了低电压高分辨率成像，同时磁性样品可适用。光学导航、完善的自动功能、精心设计的人机交互，优化的操作和使用流程，无论经验是否丰富，都可以快速上手，完成高分辨率拍摄任务。

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场发射扫描电镜SEM5000

SEM5000是一款分辨率高、功能丰富的场发射扫描电子显微镜。
先进的镜筒设计，高压隧道技术（SuperTunnel）、低像差无漏磁物镜设计，实现了低电压高分辨率成像，同时磁性样品可适用。光学导航、完善的自动功能、精心设计的人机交互，优化的操作和使用流程，无论经验是否丰富，都可以快速上手，完成高分辨率拍摄任务。

产品特点

01

分辨率高，低加速电压下实现高分辨成像

02

电磁复合物镜，减小像差，显著提高低电压下的分辨率，而且可观察磁性样品

03

高压隧道技术(SuperTunnel) ，在隧道中的电子能保持高能量，减少了空间电荷效应，低电压分辨率得到保证

04

电子光路无交叉，有效的降低系统像差，提升分辨能力

05

水冷恒温物镜，保证物镜工作的稳定性、可靠性和可重复性

06

磁偏转六孔可调光阑，自动切换光阑孔，无需机械调节，实现高分辨率观察或大束流分析模式快速切换

应用领域

芯片半导体建筑材料

电子元器件化学化工生物医疗

金属材料更多领域

产品参数

关键参数	分辨率	1.0 nm @ 15 kV，SE 1.5 nm @ 1.0 kV，SE 0.8 nm @ 30 kV，STEM
	加速电压	20 V ～ 30 kV
	放大倍率	1 ～ 2,500,000 x
	电子枪类型	肖特基场发射电子枪
样品室	真空系统	全自动控制，无油真空系统
	摄像头	双摄像头（光学导航+样品仓内监控）
	样品台行程	X: 120 mm，Y: 115 mm，Z: 50 mm T: -10°～ +90°, R: 360° （* 可选配超大仓体版本）
探测器和扩展	标配	镜筒内高角度电子探测器侧向低角度电子探测器
探测器和扩展	选配	插入式背散射电子探测器 STEM自动插入式扫描透射探测器样品交换仓高速束闸和电子束曝光 EDS能谱仪 EBSD背散射衍射 EBIC电子束感生电流 CL阴极荧光高低温原位拉伸台纳米机械手大图拼接轨迹球& 旋钮控制板
软件	语言	中文
	操作系统	Windows
	导航	光学导航、手势快捷导航
	自动功能	自动亮度对比度、自动聚焦、自动像散