EVIDENT 奥林巴斯 OLS5100 显微镜解决方案
LEXT OLS5100 3D激光扫描显微镜用于材料分析的激光显微镜智能工作流程，更快地完成实验OLS5100激光显微镜专为失效分析和材料工程研究而设计，将出色的测量精度和光学性能与智能工具相结合，使显微镜使用起来更加方便。 它可以快速高效完成亚微米级形貌和表面粗糙度的精确测量，不仅简化了工作流程，还能提供值得信赖的数据。 观看视频 |  |
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| 有保证的测量准确度LEXT显微镜物镜可提供高度准确的测量数据。 与Smart Lens Advisor（智能镜头顾问）配合使用，可以获得值得信赖的准确数据。
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易于操作的激光扫描显微镜通过精心设计的软件，新手和有经验的用户都可以轻松使用显微镜。
本网页上的信息（包括保证的准确度）均基于Evident设定的条件。 |
材料工程和失效分析实验更轻松智能实验管理器可将以前耗时的任务自动化，使亚微米级3D观察和失效分析实验工作流程变得更加简单。
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可以信赖的服务和支持从校准到培训，我们提供各种服务组合，帮助您的设备保持出色的性能。 Evident的服务合同：
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主机规格
| 型号 | OLS5100-SAF | OLS5100-SMF | OLS5100-LAF | OLS5100-EAF | ||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 综合倍率 | 54x ～ 17280x | |||||
| 视场 | 16 µm ～ 5,120 µm | |||||
| 测量原理 | 光学系统 | 反射型共聚焦激光扫描（激光）显微镜 反射型共聚焦激光扫描（激光-DIC）显微镜 彩色 彩色-DIC | ||||
| 光接收元件 | 激光：光电倍增管（2通道） 彩色：CMOS彩色相机 | |||||
| 高度测量 | 显示分辨率 | 0.5 nm | ||||
| 动态范围 | 16位 | |||||
| 可重复性σn-1*1 *2 *5 | 5X：0.45μm，10X：0.1μm，20X：0.03μm，50X：0.012μm，100X：0.012μm | |||||
| 准确度 *1 *3 *5 | 0.15 + L/100 μm（L：测量长度[μm]） | |||||
| 拼接图像准确度 *1 *3 *5 | 10X：5.0+L/100 μm；20X或更高：1.0+L/100 μm（L：拼接长度[μm]） | |||||
| 测量噪声（Sq噪声） *1 *4 *5 | 1 nm（典型值） | |||||
| 宽度测量 | 显示分辨率 | 1 nm | ||||
| 可重复性3σn-1 *1 *2 *5 | 5X：0.4μm，10X：0.2μm，20X：0.05μm，50X：0.04μm，100X：0.02μm | |||||
| 准确度 *1 *3 *5 | 测量值+/- 1.5% | |||||
| 拼接图像准确度 *1 *3 *5 | 10X：24+0.5L μm；20X：15+0.5L μm；50X：9+0.5L μm；100X: 7+0.5L μm（L：拼接长度[mm]） | |||||
| 单次测量时最大测量点数量 | 4096 × 4096像素 | |||||
| 最大测量点数量 | 3600万像素 | |||||
| XY载物台配置 | 长度测量模块 | • | 不适用 | 不适用 | • | |
| 工作范围 | 100 × 100 mm电动 | 100 × 100 mm 手动 | 300 × 300 mm 电动 | 100 × 100 mm 电动 | ||
| 最大样品高度 | 100 mm | 40 mm | 37 mm | 210 mm | ||
| 激光光源 | 波长 | 405 nm | ||||
| 最大输出 | 0.95 mW | |||||
| 激光分类 | 2类（IEC60825-1：2007，IEC60825-1：2014*6 | |||||
| 彩色光源 | 白光LED灯 | |||||
| 电气功率 | 240 W | 240 W | 278 W | 240 W | ||
| 质量 | 显微镜主体 | 约重31 kg | 约重32 kg | 约重50 kg | 约重43 kg | |
| 控制盒 | 约重12 kg | |||||
*1 在ISO554(1976)、JIS Z-8703(1983)规定的恒温恒湿环境中使用时可达到规格要求（温度：20℃±1℃，湿度：50％±10%）。
*2 在使用MPLAPON LEXT系列物镜且放大倍率为20倍或更高时。
*3 在使用专用LEXT物镜测量时。
*4 在使用MPLAPON100XLEXT物镜测量时的典型值，可能与保证值不同。
*5 在Evident认证体系下有保证。
*6 OLS5100是2类激光产品。请勿盯着光束看。
** Evident提供的显微镜控制器已获得Window 10操作系统许可证。因此，Microsoft的许可条款适用，并且您要同意这些条款。
物镜
| 系列 | 型号 | 数值孔径（NA） | 工作距离（WD）（mm） |
|---|---|---|---|
| UIS2物镜 | MPLFLN2.5X | 0.08 | 10.7 |
| MPLFLN5X | 0.15 | 20 | |
| 专用LEXT物镜（10X） | MPLFLN10XLEXT | 0.3 | 10.4 |
| 专用LEXT物镜（高分辨率） | MPLAPON20XLEXT | 0.6 | 1 |
| MPLAPON50XLEXT | 0.95 | 0.35 | |
| MPLAPON100XLEXT | 0.95 | 0.35 | |
| 专用LEXT物镜（长工作距离型） | LMPLFLN20XLEXT | 0.45 | 6.5 |
| LMPLFLN50XLEXT | 0.6 | 5.2 | |
| LMPLFLN100XLEXT | 0.8 | 3.4 | |
| 超长工作距离物镜 | SLMPLN20X | 0.25 | 25 |
| SLMPLN50X | 0.35 | 18 | |
| SLMPLN100X | 0.6 | 7.6 | |
| 长工作距离LCD物镜 | LCPLFLN20XLCD | 0.45 | 8.3-7.4 |
| LCPLFLN50XLCD | 0.7 | 3.0-2.2 | |
| LCPLFLN100XLCD | 0.85 | 1.2-0.9 |
应用软件
| 标准软件 | OLS51-BSW | |||
|---|---|---|---|---|
| 数据采集应用程序 | 分析应用程序（简单分析） | |||
| 电动载物台软件包应用程序*1 | OLS50-S-MSP | |||
| 高级分析应用程序*2 | OLS50-S-AA | |||
| 薄膜厚度测量应用程序 | OLS50-S-FT | |||
| 自动边缘测量应用程序 | OLS50-S-ED | |||
| 颗粒分析应用程序 | OLS50-S-PA | |||
| 实验流辅助应用程序 | OLS51-S-ETA | |||
| 球体/圆柱体表面角度分析应用程序 | OLS50-S-SA | |||
*1 包括自动拼接数据采集和多区域数据采集功能。
*2 包括轮廓分析、差值分析、台阶高度分析、表面分析、面积/体积分析、线粗糙度分析、面粗糙度分析和直方图分析。
Evident激光显微镜
OLS5100-SAF配置示例
OLS5100-SAF
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OLS5100-EAF
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OLS5100-SMF
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OLS5100-LAF
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控制单元
手机/微信：13242449659电话：0755-89355351 QQ：842471885 邮箱：842471885@qq.com
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