EVIDENT 奥林巴斯 MX63L 大型半导体检测显微镜
观察和分析工具
先进的分析工具
MX63系列的各种观察功能可生成清晰锐利的图像，让用户能够对样品进行可靠的缺陷检测。全新照明技术和PRECiV图像分析软件的图像采集选项为用户评估样品和记录结果提供了更多选择。
从不可见到可见：MIX观察和图像采集
MIX观察技术通过将暗场与明场、荧光或偏振光等其他观察方法相结合，生成独特的观察图像。MIX观察技术使用户能够查看使用传统显微镜难以看到的缺陷。暗场观察所用的环形LED照明器具有在指定时间仅使用一个象限的定向暗场功能。该功能可减少样品光晕，对于样品表面纹理的可视化非常有用。
| MX63 | MX63L |
| 光学系统 | UIS2光学系统（无限远校正系统） |
| 显微镜镜架 | 反射光照明 | 白光LED（带光强度管理器）12 V 100 W卤素灯，100W汞灯，光导
明场/暗场/反射镜分光镜组件手动切换。（反射镜分光镜组件为选配件。）
通过手动操作调整3位编码分光镜组件
内置电动孔径光阑（针对所有物镜预设，暗场自动完全打开）
观察模式：明场、暗场、微分干涉对比度（DIC）*1、简易偏振光*1、荧光*1、红外和MIX观察（4个定向暗场）*2
*1 选配分光镜组件，*2 需使用MIX观察配置 |
| 透射光照明 | 透射光照明装置：需使用MX-TILA或MX-TILLB。
- MX-TILLA：聚光镜（数值孔径 0.5）和孔径光阑
- MX-TILLB：聚光镜（数值孔径 0.6）、孔径光阑和视场光阑
光源：LG-LSLED（LED光源）光导：LG-SF
观察模式：明场、简易偏振光 |
| 对焦 | 行程：32 mm
每转行程微调：100 μm
最小分度：1 μm
配上限限位器和粗调手柄扭矩调节 |
| 最大载荷重量（包括载物台和支架） | 8 kg | 15 kg |
| 观察筒 | 宽视场（FN 22 mm） | 正像三目镜筒：U-ETR4
正像可调倾角三目镜筒：U-TTR-2
倒像三目镜筒：U-TR30-2、U-TR30IR（用于红外观察）
倒置双目镜筒：U-BI30-2
倒像可调倾角双目镜筒：U-TBI30 |
| 超宽视场（FN 26.5 mm） | 正像可调倾角三目镜筒：MX-SWETTR（光程切换100% [目镜]：0 [相机] 或0：100%）
正像可调倾角三目镜筒：U-SWETTR（光程切换100% [目镜]：0 [相机] 或20%：80%）
倒像三目镜筒：U-SWTR-3 |
| 电动物镜转换器 | 明场
带DIC插槽的电动六孔：U-D6REMC
带DIC插槽的电动中心补正五孔：U-P5REMC 明场和暗场
带DIC插槽的电动六孔：U-D6BDREMC
带DIC插槽的电动五孔：U-D5BDREMC
带DIC插槽的电动中心补正五孔：U-P5BDREMC
带真空装置的电动版：U-D5BDREMC-VA |
| 载物台（X x Y） | 带内置离合驱动的同轴右手柄：MX-SIC8R
行程：210 x 210 mm
透射光照明区域：189 x 189 mm 带内置离合驱动的同轴右手柄：MX-SIC6R2
行程：158 x 158 mm
（仅适用于反射光） | 带内置离合驱动的同轴右手柄：MX-SIC1412R2
行程：356 x 305 mm
透射光照明区域：356 x 284 mm |
| 重量 | 约35.6kg（显微镜镜架26kg） | 约44kg（显微镜镜架28.5kg） |
手机/微信：13242449659电话：0755-89355351 QQ：842471885 邮箱：842471885@qq.com
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