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HAMAMATSU 滨松 C10178-03E Optical NanoGauge 膜厚测量系统
特点
- 高速和高精度（测量薄膜厚度范围（玻璃）：150 nm～50 μm）
- 实时测量
- 精确测量起伏不定的薄膜
- 分析光学常数（n、k）
- 提供外部控制
- 量子产率、反射率、透射率和吸收率可通过具体的附件测量
详细参数
| 型号 | C10178-03E |
|---|---|
| 测量型号（特点） | 支持 NIR |
| 可测量的薄膜厚度范围（玻璃） | 150 nm 至 50 μm*1 |
| 测量重现性（玻璃） | 0.05 nm*2 *3 |
| 测量精度（玻璃） | ±0.4%*3 *4 |
| 光源 | 卤素光源 |
| 测量波长 | 900 nm 至 1650 nm |
| 光斑尺寸 | 约 φ1 mm*3 |
| 工作距离 | 10 mm*3 |
| 可测量层数 | 最多 10 层 |
| 分析 | FFT 分析、拟合分析、光学常数分析 |
| 测量时间 | 19 ms/point*5 |
| 光纤连接器形状 | φ12 套管形 |
| 外部控制功能 | RS-232C、PIPE、以太网 |
| 电源 | AC200 V 至 AC240 V，50 Hz/60 Hz |
| 功耗 | 约 230 VA |
*1：当以玻璃折射率 1.5 进行转换时。
*2：测量 400 nm 厚玻璃膜时的标准偏差（容差）。
*3：取决于使用的光学系统或物镜放大率。
*4：VLSI 标准测量保证文件中记录的测量保证范围。
*5：最短曝光时间。
尺寸
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